第１８回表面分析研究会プログラム（予定）
メインテーマ：「薄膜を測定する」２００１年６月２０日（木）１３：１０〜６月２１日（金）１５：００
| ６月２０日(木) | |||
| (0) | 登録 | ||
| 12:45〜13:10 | 登録 | ||
| (1) | 事務連絡 | ||
| 13:10〜13:30 | 開会の挨拶と事務連絡 | ||
| (2) | 講演会 | ||
| 13:30〜14:00 | ＰＳＡ−０１ Ｐｏｗｅｌｌ賞受賞記念講演 「大気中における材料表面保護のための実用的方法」 |
柳内克昭 （ＴＤＫ） |
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| 14:00〜14:35 | 「電子分光におけるピーク強度とピーク幅の理論的解釈AESによる状態分析の一例」 | 眞田則明、田中彰博 （アルバック・ファイ） |
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| 14:35〜15:10 | 「薄膜構造解析におけるIMFPの利用」 | 鈴木 昇 （宇都宮大） |
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| 15:10〜15:25 | 休憩 | ||
| 15:25〜16:00 | 「AESにおける高エネルギー分解能測定時のエネルギー軸較正」 | 阿部芳己 （シーエーシーズ） |
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| 16:00〜16:35 | 「EPMAピーク強度からの薄膜解析」 | 高橋秀之 （日本電子） |
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| 16:35〜17:10 | 「微小角入射Ｘ線回折・散乱法による表面・薄膜の構造評価」 | 表和彦 （理学電機） |
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| 17:10〜18:00 | 休憩 | ||
| (3) | 夕食会 | ||
| 18:00〜19:30 | 夕食会および休憩 | ||
| (4) | よろず相談 | （悩み，Q&A，ヒントなど） | |
| 19:30〜22:00 | （初級者の質問を歓迎します） | ||
| ６月２１日(金) | |||
| (1) | 講演会 | ||
| 9:00〜9:35 | 「カソードルミネッセンスによる半導体材料の評価」 | 関口隆史 （NIMS） |
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| 9:35〜10:10 | 「斜出射EPMA法とその応用：ステンレス鋼中の微小介在物の分析」 | 粟根 徹 （NIMS） |
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| 10:10〜10:45 | 「高分解能ラザフォード後方散乱法を用いた成膜材料の表面及び 表面近傍の層構造解析」 | 柳内克昭 （ＴＤＫ） |
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| 10:45〜10:55 | 休憩 | ||
| (2) | WG会議，プロジェクト会議 | ||
| 10:55〜11:30 | 前半線／WG，SERD,データベース等 | ||
| 11:30〜12:30 | 昼食休憩 | ||
| 12:30〜13:00 | 後半戦／プロジェクト等 | ||
| (3) | 話題提供 | ||
| 13:00〜13:30 | 「SIMSによるデルタドープ層の評価」 | 高野明雄，本間芳和 （NTT-AT） |
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| 13:30〜14:00 | 募集中 | ||
| (4) | WG，プロジェクト報告 | ||
| 14:00〜14:30 | 担当者 | ||
| (5) | 事務報告（幹事会，講演委員会他） | ||
| 14:30〜15:00 | 担当者 | ||
| (6) | 閉会 | ||
| 15:00 | 田沼会長 |
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