第28回表面分析研究会プログラム

「最表面に対する評価解析技術の現状と課題」
2006年6月19日(月)13:30〜6月20日(火)13:00
6月19日(月)
13:00〜13:30 参加受付
13:30〜13:35 開会挨拶 柳内克昭(TDK)
13:35〜15:45 テーマ講演「最表面に対する評価解析技術の現状と課題」
「最先端開発現場における最表面分析の役割と重要性」(講演10分) 中村 誠(富士通研究所)
「極薄酸化膜形成のリアルタイム表面分析」(講演50分+質疑10分) 高桑雄二(東北大学)
「ToF-SIMSによる実用材料の最表面解析」(講演25分+質疑5分) 阿部芳巳(三菱化学科学技術研究センター)
「低加速電圧SEMによる実用材料の最表面解析」(同上) 橋本 哲(JFEテクノ)
休憩(15分)
16:00〜16:30 PSA-05 Powell賞受賞記念講演(講演25分+質疑5分)
「電子線励起超軟X線分光分析装置による超軟X線スペクトルの観察」 福島 整(物質・材料研究機構)
16:30〜17:30 基礎講座(講演50分+質疑10分)
「電子光学入門〜これまでのまとめ」 吉原一紘(アルバック・ファイ)
18:00〜20:00 懇親会(夕食)
20:30〜22:00 プロジェクト討議
6月20日(火)
09:00〜10:20 話題提供(4件:講演15分+質疑5分)
「超軟X線分光による化学状態分析の可能性」 木村 隆(物質・材料研究機構)
「GaAs/AlAs超格子のミクロンオーダーの深い領域での極薄層の分析」 星 孝弘(アルバック・ファイ)
「XPSによる薄膜測定の標準化の調査」 田沼繁夫(物質・材料研究機構)
「ミニカップを用いた絶対CMAの透過率計測」 アデル・アルカフリ(名古屋工業大学)
休憩(10分)
10:30〜11:10 PSA-05注目ポスター発表(2件:講演15分+質疑5分)
「炭素材料の二次電子放出特性」 荒木祥和(日産アーク)
「FE-SEM/EDSとFE-EPMAによる微細組織評価」 青柳岳史(物質・材料研究機構)
休憩(10分)
11:20〜12:50 プロジェクト報告および全体討議(90分)
各プロジェクトからの報告と討議
プロジェクトの今後のあり方について
12:50〜12:55 連絡事項
12:55〜13:00 閉会挨拶 田沼繁夫 (物質・材料研究機構)

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