第54回研究会 プログラム(2020.2.27-28)

開催日時:2020年2月27日(木) 13:00 ~ 28日(金) 15:00
開催場所:大阪大学中ノ島センター 講義室507

第1日目: 2月27日(木)

  • 13:00 ~ 13:30参加受付
  • 13:30 ~ 13:35開会挨拶
    伊藤
  • SEMの物理学
    • 13:35 ~ 14:15電子ビームリソグラフィにおけるレジストの無帯電露光条件
      小寺正敏(大阪工業大学)
    • 14:15 ~ 14:30休憩
  • PSA-19より 半導体・ナノ粒子
    • 14:30 ~ 14:50Core-shell structure analysis of powder materials using Al Kα XPS and Cr Kα HAXPES更新
      橋本真希、間宮一敏、宮山卓也、渡邉勝己(アルバック・ファイ)更新
    • 14:50 ~ 15:15実験室硬X線光電子回折法によるInN表面近傍の化学状態選別構造
      山下良之1*、Anli YANG1、小林啓介2 (1(国)物質・材料研究機構、2(国)日本原子力研究開発機構)
    • 15:15 ~ 15:40ナノ粒子粒径分布測定のための電子顕微鏡用試料調製
      黒河明、熊谷和博(産業技術総合研究所)
    • 15:40 ~ 15:55休憩
  • 依頼講演
    • 15:55 ~ 16:35先端共用施設・技術プラットフォームの展望と課題 - ナノテクノロジープラットフォーム事業をベースとして -
      田沼繁夫 (物質材料・研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター)
  • 16:35 ~ 17:25- 移動 -
  • 17:30 ~ 19:30懇親会

第2日目: 2月28日(金)

  • 9:30 ~ 10:00参加受付(必要に応じて)
  • 依頼講演
    • 10:00 ~ 10:40XPSの測定条件といくつかの注意点
      眞田則明(アルバック・ファイ)
  • 一般講演
    • 10:40 ~ 11:10球面SOMのDIMモード(要素マップの数値化)によるTofSIMSとAESスペクトルデータの解析更新
      徳高平蔵1、大北正昭1、吉原一紘2、木村昌弘3、新名玄4
      (1元(有)SOMジャパン,現(株)GAUSS技術顧問,2物質材料研究機構(NIMS),3JX金属(株) ,4(株)GAUSS)
  • 11:10 ~ 12:50- 昼食 -(研究会では準備いたしませんので各自でお取りください)
  • PSA-19より データ解析
    • 12:50 ~ 13:15Study of the exchange Monte Carlo method with Gaussian-Lorentzian mixed function for spectral deconvolution
      松村純宏(HGSTジャパン)
    • 13:15 ~ 13:40Chemical State Quantification of X-ray Auger Electron Spectrum with Top-Hat Filtering
      梶原 靖子*,樹下 まゆ,尾山 貴司(株式会社 村田製作所)
  • PSA-19より
    • 13:40 ~ 14:00Evaluation of water in thin films using Rifs and TOF-SIMS更新
      伊藤博人(コニカミノルタ)
  • 14:00 ~ 14:05連絡事項
    伊藤
  • 14:05 ~ 14:10閉会挨拶
    永富

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