実用表面分析セミナー '06

ー ISO 規格を基礎とした表面分析の実際 ー


プログラム

7月13日(木)
1.12:00 - 13:00 AES, XPSの装置性能パラメータの記述法  - 装置比較のために -
   鈴木 峰晴(アルバック・ファイ)
2.13:00 - 14:00 分析試料の取付け法と帯電補償・補正に関する記述法
   當麻 肇(日産アーク)
3.14:00 - 15:00 AES, XPS分析における空間分解能と分析領域の決定法
   井上 雅彦(摂南大学)
4.15:15 - 16:15 AESのエネルギー軸の校正法  - 元素分析と状態分析のために -
   境 悠治(日本電子)
5.16:15 - 17:15 XPSのエネルギー軸の校正法  - 状態分析のために -
   橋本 哲(JFEテクノリサーチ)
7月14日(金)
1.10:00 - 11:00 XPSとAESの強度軸の直線性の評価法  - 正しい計測のために -
   吉原 一紘(アルバック・ファイ)
2.11:00 - 12:00 XPSとAESの強度軸の繰り返し性と恒常性の評価法  - 正しい計測のために -
   荒井 正浩(住友金属工業)
3.12:00 - 13:00 XPSのバックグラウンド処理法 -ISO/TR 18392:2005の紹介-
   福島 整(物質・材料研究機構)
4.14:00 - 15:00 AES, XPSにおける感度係数法による定量  - 定量性を高めるために -
   田沼 繁夫(物質・材料研究機構)
5.15:00 - 16:00 SIMSによる定量  - 参照試料の利用法 - 
   高野 明雄(NTTアドバンステクノロジ)
6.16:00 - 17:00 ISO規格における代表的な表面分析用語解説
   後藤 敬典(産業技術総合研究所)
7. 総合討論